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STIL-VIZIR 控制器

STIL-VIZIR 控制器高精度的最佳解决方案,非接触式晶片厚度测量,近红外光谱测头.

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  • 技术特点
STIL-VIZIR控制器,可配置近红外测头CLIR。CLIR测头在VIZIR上的配置参数

l 高精度的最佳解决方案,非接触式晶片厚度测量

l 近红外光谱测头

l 测量频率高达1K Hz

l 距离和厚度模式

l 数字输出:USB 和 RS232/RS422

l 2个0V-10V的模拟输出

l 同步读取3个外部数字编码器

l 由于特定的厚度校准,提高了厚度模式下的性能

l 长寿命光源

l 高级功能:“第一峰值”,“双倍频率”,“保持最后值”,时间平均......

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