STIL-VIZIR 控制器高精度的最佳解决方案,非接触式晶片厚度测量,近红外光谱测头.
l 高精度的最佳解决方案,非接触式晶片厚度测量
l 近红外光谱测头
l 测量频率高达1K Hz
l 距离和厚度模式
l 数字输出:USB 和 RS232/RS422
l 2个0V-10V的模拟输出
l 同步读取3个外部数字编码器
l 由于特定的厚度校准,提高了厚度模式下的性能
l 长寿命光源
l 高级功能:“第一峰值”,“双倍频率”,“保持最后值”,时间平均......
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