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纳米精度移动平台——岱珂机电 纳米级的最高精度运动

发布日期:2022-05-27    浏览次数:2985

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借助其独特的压电驱动技术、刚性机械设计以及交叉滚子轴承的应用,环境和真空纳米定位器能够在纳米尺度上移动和放置高达数公斤的负载。

工作原理

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