LayTec公司的在线监测系统能够在太阳能电池片卷对卷生产过程中测量沉积层的特性:每层的厚度、颜色值、有效吸收率和粗糙度。非接触式光学监控系统Flames IR通过直接反馈给生长控制系统和统计过程控制,将生产过程严格地控制在指标范围内。
上述图1:安装在卷对卷系统中的Flames IR光学头,用于研究基于CIGS薄膜的结构。
上述图2:安装在卷对卷TCO镀膜系统上的Flames IR光学头。
Flames IR光谱是基于(500~1600nm)的镜面反射光谱测量,基本适用于所有主要的光伏薄膜结构:CIGS-和CdTe基薄膜太阳能电池、a-Si/μc-Si叠层电池以及在mc-Si和c-Si太阳能晶片上的减反射膜。
上述图3:在线定点厚度测量
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