白光干涉传感器

       白光干涉测量专用于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，Z向分辨率最高可达0.1um，其测量精度可以达到纳米级！

技术特点

白光干涉作为一种广泛应用的三维表面形貌测量技术，其纵向分辨率可达到亚纳米级别。

视场内信息采集与数据处理同时进行，大面积区域的高度信息采集时间短。

多用于科学研究与质量管理领域，典型应用包括不同表面粗糙度样品的三维表面形貌测量（如晶片结构、镜面、玻璃与金属）、台阶高度测定和曲面精度测量（如微型透镜）。

广泛的运用领域：

白光干涉优势特点：

1， 非接触测量 ：      非接触三维表面轮廓测量。

2， 重复性好：           噪音小，测量重复性好。

3， 纳米级分辨率：    Z轴分辨率最高可达0.1nm

4， 点云数量多：       测量的点云数多：一个面最多可以达到500万个点。

5， XY分辨率小：      点间距小，XY分辨率高，大范围内可高精度测量。

6， 视野范围大：       多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野。

7， 测量速度快：       采集速度、处理和输出数据速度快。

8， 可在线测量 ：          测量速度快，可实现在线高速检测。

9， 角度特性好：       超越传统角度极限，可以测量更大倾斜角的产品，漫反射面可测接近90度的斜面。

使用范围包括但并局限于以下：

 • 半导体；

 • 电子； 

• 汽车； 

• 光伏晶圆

更多参数细节欢迎来电咨询。。。。。。

13816545905

 郑先生