利用微加工技术制造的传感器

微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备而成。它是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息按一定规律变换成电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

微传感器种类繁多，应用广泛，获取信息能力强，可以说是人类五官的有效延伸。荷兰人理查德·诺特观察到蜘蛛网的振动，产生了一个大胆的想法：搭上数百万年进化的便车，用蜘蛛网作为一个超敏感设备的初始模型。基于此，他的研究团队开发了一种微芯片传感器，在与室温噪声隔离的情况下能产生极好的共振，这一发现将使建造量子设备的成本更加低廉。这种新颖的方式对量子互联网、传感、微芯片技术和基础物理学有着广泛影响。通过基于蜘蛛网的传感器，研究人员展示了这种跨学科战略如何结合生物启发设计、机器学习和纳米技术，为科学发展开辟新的道路。

在基础学科研究中，由于现代科学技术的发展进入了许多新领域，需要对深化物质认识、开拓新能源、新材料等具有重要作用的各种极端技术进行研究，如超高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、超弱磁场等等，而人体感官无法获得这些信息，就必须要借助具有新机理和高灵敏度的检测传感器。

此外，随着新技术革命的到来，世界开始进入信息时代。在利用信息的过程中，首先要解决的就是获取准确可靠的信息，而微传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。在此大背景下，微传感器已渗透到工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、文物保护等诸多领域。它具有微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化等突出优点，不仅促进了传统产业的改造和更新换代，而且还可能建立新型工业，从而成为21世纪新的经济增长点。

目前，我国微传感器行业高速发展，建立了传感技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室、国家传感技术工程中心等研究开发基地，微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）等研究项目列入了国家高新技术发展重点，传感器行业已进入高速发展关键阶段。2019年以来，随着我国5G技术的深入发展，MEMS微传感器也迎来了重大机遇，未来将在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、特种车辆、生特医学及消费电子产品等领域得到更广泛的应用，对于“中国制造”全面转型升级有着重要意义。

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