在钙钛矿产线上的膜层厚度及PL测量技术的最新分享

德国LayTec公司是薄膜工艺原位和在线光学测量的主要供应商，产品用于广泛的薄膜应用，如LED和激光生产、功率器件和晶体管、薄膜光伏、氧化物和有机沉积以及其他大面积沉积工艺。无论是在原位、沉积过程中还是在线，LayTec的集成测量系统可实时获取薄膜的所有关键参数。此外，用于干法蚀刻的原位测量系统，扩大了LayTec在生产线上的产品组合。除此之外，LayTec还提供全面型mapping解决方案，通过提供沉积层的均匀性分析，完美地补充了原位测量。

在光伏领域，LayTec在过去五年中一直专注于纯钙钛矿薄膜和钙钛矿叠层的测量方案。基于这一经验，并与该领域一些最知名的研究机构的合作，现在为所有主要的钙钛矿形成方式提供质量控制解决方案。在生产过程中使用LayTec测量系统显著缩短了开发周期，并实现了高效的质量控制，有助于大幅降低生产和开发成本。

上海岱珂成立于2011年，是由一个有着超过20年行业经验的团队组建而成，致力于打造自动化精密测量技术平台，在此基础上寻找来自全球先进的精密测量方案，为电子、半导体、新能源、航空航天及汽车等行业客户提供量身定制科学、高效、稳定的高精度的在线尺寸测量解决方案，提升客户的核心竟争力，降低客户成本。在上海、北京、广东东莞、福建厦门等地分别设有总公司和办事处，在日新月异的当今中国的制造产业中，以不可忽视的新秀姿态越来越发挥其应有的作用。

德国Laytec公司与上海岱珂公司于2023年签署战略合作伙伴关系，授权上海岱珂公司为其在大中华区独家代理商，推广其在光伏CIGS，CdTe及钙钛矿、OLED及其他大面积薄膜沉积厚度及PL在线与原位测量的解决方案。

 报告标题 

 In-situ and in-line quality control for perovskite formation from lab-scale to industrial production

 演讲人姓名职位 

Dr. Christian Camus ， CMO and product manager

 演讲人简历 

德国柏林联邦大学物理学博士，在德国和美国光伏行业公司担任过多个职位，2015年到2018年期间，领导了ZAE Beyern的光伏系统小组，专注于光伏系统可靠性及集成研究。2019年加入Laytec公司，担任产品经理，并从2020年开始担任公司的CMO。

在本报告中，介绍了通过集成测量系统监测钙钛矿形成质量的最新进展。展示了光谱反射和光致发光等光学方法如何应用于研究和控制旋涂、狭缝涂布、PVD以及退火过程中钙钛矿薄膜的形成。因此，可以实现原位和在线的监测。

从这些测量中收集的光学信息可用于了解基本的材料特性，如薄膜厚度、粗糙度、带隙或成分，以及工艺条件，如过程中的生长速率，或通过直接控制这些参数主动调整以达到所需的薄膜特性。

总之，这些方法为提高钙钛矿薄膜工艺的可重复性和产量提供了一个很好的工具箱，从而加速了工艺开发中的学习周期。