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激光干涉位移传感器

传感器可直接集成到机床、半导体设备、三坐标测量系统等设备上。能够在三个轴上测量,可实现从几毫米到几米的大工作距离,可对不同材料进行最精确的测量。提供模块化测量设置和极其紧凑的激光传感器头已获得专利,该技术还可以进行振动测量,旋转跳动测量或机床校准。