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STIL-DUO 传感器

STIL DUO ---双重技术“点”传感器 Ø 世界上第一个提供两种同时测量技术的系统:光谱共焦原理 和 具备原始共焦设置的白光干涉原理。

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STIL DUO ---双重技术“点”传感器

Ø 世界上第一个提供两种同时测量技术的系统:光谱共焦原理 和 具备原始共焦设置的白光干涉原理。
Ø STIL的光谱共焦原理可测量范围从130µm到42mm。非常适用于粗糙度和表面形貌测量,在任何类型的材料上都可获得非常高的精确度,无论是反射还是散射。测量符合新ISO25178标准。
Ø STIL的共焦光谱干涉测量法,可获得亚纳米分辨率(<1nm)的厚度和形貌测量结果,可在大于100µm的测量范围内进行测量,且样品的最小可测厚度为0.4µm。
Ø 完美适用于工业环境,许多输入和输出以及软件开发套件,接口非常简单。
      


  1. l 白光光谱干涉模式

振动不敏感(OPILB-RP光学笔)

高信噪比(OPILB-RP光学笔)

不需垂直扫描

最小可测厚度0.4µm

光学原理固有的亚纳米分辨率

共焦使相邻点之间无干扰,

厚度测量上具有卓越性能(0.3nm分辨率,10nm精度)

 

  1. l 光谱共聚焦模式

使用Multipeak软件进行多层样品测量


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